超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是一種用于能源科學(xué)技術(shù)、航空、航天科學(xué)技術(shù)、考古學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,幾乎可以對(duì)所有類(lèi)型的樣本進(jìn)行圖像處理,陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而,某些特定類(lèi)型的樣品更具有挑戰(zhàn)性,并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備,以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。
超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的特點(diǎn)與應(yīng)用:
(1)全面解析
全面的納米和亞納米分辨率性能,適用于納米顆粒、粉末、催化劑、納米器件、大塊磁性樣品等材料;
(2)很強(qiáng)的靈活性
非常靈活的處理范圍,樣品類(lèi)型廣泛,包括絕緣體、敏感材料和磁性樣品,收集最重要的數(shù)據(jù);
(3)SmartAlign技術(shù)
使用SmartAlign(智能對(duì)中)技術(shù),實(shí)現(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整,減少維護(hù)時(shí)間;
(4)先進(jìn)的自動(dòng)化
先進(jìn)的自動(dòng)化用于自動(dòng)圖像微調(diào)、撤銷(xiāo)、用戶向?qū)?、Maps成像拼接的FLASH(閃調(diào))技術(shù);
(5)實(shí)時(shí)定量EDS
元素信息觸手可及,利用ColorSEM技術(shù),提供實(shí)時(shí)元素面分布成像定量分析,結(jié)果獲取更加快速、簡(jiǎn)便;
(6)長(zhǎng)工作距離
在長(zhǎng)工作距離(10mm)具有高分辨率的性能(1nm)和優(yōu)秀的圖像質(zhì)量的SEM。