STEM透射電鏡是怎么來的?掃描電子顯微鏡已成為表征物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)*的儀器。在掃描電鏡中,電子束與試樣的物質(zhì)發(fā)生相互作用,可產(chǎn)生二次電子、特征X射線、背散射電子等多種的信號,通過采集二次電子、背散射電子得到有關(guān)物質(zhì)表面微觀形貌的信息,背散射電子衍射花樣得到晶體結(jié)構(gòu)信息,特征X-射線得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息,這些得到的都是接近樣品表面的信息。在掃描電鏡中,電子束與薄樣品相互作用時,會有一部分電子透過樣品,這一部分透射電子也可用來成像,其形成的像就是掃描透射像(STEM像)。
STEM透射電鏡透射電子像的形成主要是入射電子束與樣品發(fā)生相互作用,當(dāng)電子束穿過樣品逸出下表面時,電子束的強度發(fā)生了變化,從而投影到熒光屏上的強度是不均勻的,這種強度不均勻就形成了透射像。通常以襯度(Contrast,C)來描述透射電子所成的像,襯度指樣品電子像上相鄰區(qū)域的電子束強度差,即圖像的對比度,電子束被樣品散射后,根據(jù)樣品的性質(zhì)不同,電子束的振幅和相位會發(fā)生相應(yīng)的改變,形成振幅襯度像和相位襯度像,其中由于樣品的質(zhì)量(原子序數(shù)、密度等)或者厚度的差異造成的透射電子束強度的差異而形成的襯度稱為質(zhì)厚襯度,非晶材料的透射像襯度主要為質(zhì)厚襯度像,入射電子透過樣品時碰到的原子數(shù)越多即樣品越厚,或者樣品原子核庫侖電場越強即原子序數(shù)或密度越大,被散射的大角度的電子越多,被擋在物鏡光闌之外越多,成像系統(tǒng)接受的電子數(shù)越少,那么襯度高,反之襯度越低。
在掃描電鏡上配置透射附件,應(yīng)用透射模式(Scanning transmission electron microscopy,STEM)可得到物質(zhì)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息,STEM透射電鏡既有掃描電鏡的功能,又具備透射電鏡的功能,與透射電鏡相比,由于其加速電壓低,所以可顯著減少電子束對樣品的損傷,而且可大大提高圖像的襯度,特別適合于有機高分子、生物等軟材料樣品的透射分析。